Технология интегральной электроники

Учебное пособие включает базовые технологические процессы и оборудование для производства изделий интегральной электроники. Предназначено для закрепления и углубления теоретических знаний, ознакомления с современными технологическими процессами и автоматизированным технологическим оборудованием для изготовления изделий интегральной электроники. Микроэлектроника создает малогабаритные твердотельные приборы, способ организации электронных процессов в которых позволяет за очень короткие промежутки времени обрабатывать в малы объёмах твёрдого тела большие объемы информации. Идеальной задачей микроэлектроники является создание твердотельных приборов, сочетающих совершенство организации мозга человека с быстродействием изделий интегральной электроники. Современная технология производства изделий интегральной электроники основана на двух основополагающих принципах: последовательном формировании тонких слоев или плёнок при определённых режимах и создании топологических рисунков с помощью процессов литографии.